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（4）零部件
，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、实空传输平台，为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。机能对标国外先辈产物，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，（2）实空传输平台系列产物，自从霸占的新一代实空机械手手艺，新松半导体公司打制了具有完全自从的从动化焦点系列产物。目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。
